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关于溅射论文范文写作 不同溅射时间下AlN缓冲层对Zno薄膜影响相关论文写作资料

主题:溅射论文写作 时间:2024-03-26

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摘 要:实验采用射频磁控溅射技术,制备了不同溅射时间下AlN缓冲层的ZnO薄膜,研究了薄膜的结构、形貌及电学性能,结果表明,不同溅射时间下AlN缓冲层Zn0薄膜的生长依然是(002)择优取向,而且当缓冲层溅射时间为60min时,ZnO薄膜的结构和电学性能最好.

关键词:缓冲层;ZnO薄膜;射频磁控溅射

中图分类号:0469文献标志码:A文章编号:1007-2683(2012)02-0114-04

结论:关于溅射方面的的相关大学硕士和相关本科毕业论文以及相关镀膜机设备论文开题报告范文和职称论文写作参考文献资料下载。

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